特許

J-GLOBAL ID：200903093637807343

切削加工装置

発明者： 吉田 圭吾
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-337436
公開番号（公開出願番号）：特開2008-149388
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】光学式センサ等のレンズ機器の受光レンズ等が切削屑によって汚濁しにくく、また切削屑が付着しても比較的除去しやすくして、切削加工に要する各種画像データや検出データ等を正確に得る。【解決手段】セットアップ用の光学式センサ60の発光レンズ64および受光レンズ65、および回転ブレード30の切り刃32の消耗や欠け等を撮像するためのカメラユニット70の各カバー76,86の各表面に塗布して切削屑の付着を抑制するコーティング材として、親水性のものを用いる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する保持手段と、 切削工具を回転可能に保持し、回転させた該切削工具を、前記保持手段に保持された被加工物に作用させて切削加工を施す切削加工手段と、 前記切削工具による前記被加工物への加工部に切削液を供給する切削液供給手段とを備えた切削加工装置において、 前記切削工具の状況を認識する受光端部を有し、該受光端部を介して前記状況を光学的に認識する認識手段が設けられているとともに、該受光端部の表面に、親水性材料からなるコーティング層が被覆されていることを特徴とする切削加工装置。

IPC (3件)：

B23Q 17/24 ,  H01L 21/301 ,  B24B 49/12

FI (3件)：

B23Q17/24 B ,  H01L21/78 F ,  B24B49/12

Fターム (7件)：

3C029AA21 ,  3C029AA40 ,  3C034AA13 ,  3C034CA22 ,  3C034CA30 ,  3C034CB14 ,  3C034DD20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ブレードの非接触セットアップ手段
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-224555   出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (3件)

• 特許第2865065号
  
• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-009759   出願人：株式会社ディスコ
• 特許第2865065号