特許

J-GLOBAL ID：200903093652134290

搬送装置

発明者： 大谷 栄三 ,  小山 勝 ,  安部 宣利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137207
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330189
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 ウェハW等の薄板の搬送装置において、複数枚または任意の一枚について多様な搬送動作を行うこと。【解決手段】 薄板Wの第1の保持部4及び第2の保持部5を収納部3の高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機構12、13と、収納部の高さ方向における第1の保持部の位置と、収納部の高さ方向における第2の保持部の位置との少なくとも一方を指示する指示手段7と、指示手段の指示に基づいて駆動機構を制御する制御機構8とを有するので、第1、第2の保持部が個別に前記高さ方向に任意に移動可能であり、その位置を指示手段が制御機構に指示することにより、第1、第2の保持部による取り出し・収納を収納部の任意の薄板について行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

薄板の収納部への収納および該収納部からの取り出しを行う搬送装置であって、前記薄板の収納および取り出しを行う第1の保持部と、前記第1の保持部に対し前記収納部の高さ方向に離して配置され前記薄板の収納および取り出しを行う第2の保持部と、前記第1の保持部及び前記第2の保持部を前記収納部の高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機構と、前記収納部の高さ方向における前記第1の保持部の位置と、前記収納部の高さ方向における前記第2の保持部の位置との少なくとも一方を指示する指示手段と、前記指示手段の指示に基づいて前記駆動機構を制御する制御機構とを有することを特徴とする搬送装置。