特許
J-GLOBAL ID：200903093653964858
スキャニングプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-220669
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061441
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】大型の試料も測定できる良好な走査型プローブ顕微鏡を実現するためのスキャニングプローブを提供する。【解決手段】チューブスキャナー2は一端が支柱(図示せず)に固定され、自由端にはハウジング101が取り付けられている。ハウジング101には、ニュートラル時のチューブスキャナー2の中心軸103に一致する光軸104を持つ対物レンズ8と、光軸104に45°の角度で固定された反射ミラー102とが設けられている。反射ミラー102と光軸104の交点は、対物レンズ8の後ろ側焦点面の近傍に位置している。対物レンズ8の前側焦点面には、チップ7を先端に備えたカンチレバー6が紙面に垂直な向きでハウジング101に固定されている。ハウジング101の外側には、対物レンズ8と相俟って臨界角法合焦検出光学系を構成する部材が、ベースに対して固定位置に配置されている。
請求項（抜粋）：
尖鋭なチップを先端に備えるカンチレバーと、その前側焦点面にカンチレバーが位置するように配置された対物レンズと、対物レンズの光軸に対して傾けて配置された平面ミラーであって、対物レンズの光軸との交点が対物レンズの後ろ側焦点面近傍に位置する平面ミラーと、カンチレバーと対物レンズと平面ミラーを収容し、これらを所定の位置関係に保持するハウジングと、ハウジングを移動可能に支持するスキャナーと、ハウジングとは独立に設けられた、カンチレバーの変位とねじれを光学的に検出する検出光学系とを有し、検出光学系は平面ミラーに向けて平行光束を射出し、平行光束は平面ミラーで反射されて対物レンズによりカンチレバーに集光され、カンチレバーで反射された光は対物レンズを通って平面ミラーにより検出光学系に向けて反射され、検出光学系はこの反射光を受けてこれに基づきカンチレバーの変位とねじれを検出する、スキャニングプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
