特許
J-GLOBAL ID：200903093659014258
変形対象物の非破壊的検査方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-214484
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133621
出願日： 1996年08月14日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 電子スペックル像干渉計によって得た干渉縞パターンにおいて、特定のパターンを解析することに基づいた、負荷の印加された変形対象物の新しい非破壊的検査方法およびその装置を実現する。【解決手段】 検査対象物60表面のスペックル像をデュアルビーム電子スペックル-パターン干渉計により得て、さらに、短時間の間隔を空けて、連続するいくつかの時間の点に減算モードを行うことで、縞パターンを得る。これらの縞パターンはリアルタイムでモニターされ、また特定のパターンの特徴的性質から、変形対象物60の現在の機械的状態を予測することができる。変形対象物60表面上の特定のパターンの時間的変化の軌跡は、変形対象物60の機械的状態を診断するための手掛かりとなるいくつかのパラメターを示す。
請求項（抜粋）：
変形対象物の非破壊的検査方法において、(a)前記変形対象物に対して共通の入射角度で入射する1組の垂直な干渉計を構成するレーザビームによって照射される前記変形対象物のスペックル像Ibf,verを、予め与えられた時間TにおいてCCDカメラに取り込む第1のステップと、(b)前記変形対象物に対して共通の入射角度で入射する1組の水平な干渉計を構成するレーザビームによって照射される前記変形対象物のスペックル像Ibf,horを、前記Ibf,verが取り込まれた後、最小時間の遅れΔτで前記CCDカメラに取り込み、前記時間の遅れΔτをできるだけ小さくする第2のステップと、(c)前記変形対象物に対して共通の入射角度で入射する1組の垂直な干渉計を構成するレーザビームによって照射される前記変形対象物のスペックル像Iaf,verを、前記Ibf,verが取り込まれた後、予め設定された時間間隔Δtの範囲内で前記CCDカメラに取り込む第3のステップと、(d)前記変形対象物に対して共通の入射角度で入射する1組の水平な干渉計を構成するレーザビームによって照射される前記変形対象物のスペックル像Iaf,horを、前記Iaf,verが取り込まれた後、前記時間の遅れΔτの範囲内で前記CCDカメラに取り込む第4のステップと、(e)前記Ibf,verからIaf,verを、あるいは前記Iaf,verから前記Ibf,verを減算することによって減算縞パターンIsub,verを得て、前記Ibf,horから前記Iaf,horを、あるいは前記Iaf,horから前記Ibf,horを減算することによって減算縞パターンIsub,horを得る第5のステップと、(f)前記減算縞パターンIsub,verおよびIsub,horにおいて1つ以上の白帯が存在するかどうかを判定するために、前記減算縞パターンIsub,verおよびIsub,horを検査する第6のステップと、(g)前記減算縞パターンIsub,verおよびIsub,horにおける前記白帯の位置を探査し、もし白帯が存在すれば、前記Ibf,verが取り込まれる前記時間Tと同時に、その探査位置を記憶し、もし2つ以上の白帯が存在すれば、すべての白帯の位置を探査し、前記時間Tと同時にすべての白帯の探査位置と白帯の数を記憶する第7のステップと、(h)白帯の前記位置の時間的変化を示すグラフを得て、白帯のパラメターと、前記位置の前記時間的変化の特定の性質の両方あるいはどちらかに従って、起こりうる破壊位置および破壊のタイミングを予測することにより、前記変形対象物の機械的状態を診断する第8のステップと、(i)予め設定された時間間隔ΔTで、前記第1のステップから第8のステップまでを反復する第9のステップから成る変形対象物の非破壊的検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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