特許

J-GLOBAL ID：200903093668777680

露光装置

発明者： 三 宮 勝 也 ,  井 田 良 一
出願人/特許権者： 株式会社アドテックエンジニアリング
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-219809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035677
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 連続的な露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 円筒状フォトマスク1を回転させ、これに同期してワークWを搬送し、円筒状フォトマスク1内部に設けられた露光光源2により露光位置Eにおいて露光を行う。

請求項（抜粋）：

円筒状のフォトマスクと、露光対象物と、前記円筒状のフォトマスクと前記露光対象物を同期させてフォトマスクを回転させ、露光対象物を搬送させる駆動装置と、該円筒状のフォトマスク内に配置され、前記円筒状のフォトマスクを透過して前記露光対象物に光を照射する光源と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/23 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G03F 7/23 Z ,  H05K 3/00 H

Fターム (7件)：

2H097AB04 ,  2H097AB06 ,  2H097AB09 ,  2H097CA03 ,  2H097GA43 ,  2H097JA02 ,  2H097LA09