特許
J-GLOBAL ID：200903093669348308
電解槽及び電解方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
森 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-174163
公開番号（公開出願番号）：特開平10-001794
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【目的】 従来の電解洗浄水よりも不純物含有量の少ない洗浄水の製造用電解槽及び製造方法を提供する。【構成】 隔膜としてパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜2を使用し、電極室枠5、6をフッ素樹脂で成型し、電極7、8用物質として溶出の殆どない白金族金属やその酸化物を使用した電解槽。このような構成から成る電解槽に電解液を供給しながら電解を行なうと、電極物質や室枠の溶出による生成する洗浄水の汚染が防止され、超高純度が要求される電子機器洗浄用として効果的に使用できる洗浄水が提供できる。
請求項（抜粋）：
その両面に陽極触媒及び陰極触媒を配した陽イオン交換膜により陽極室及び陰極室に区画された電子機器洗浄用酸性水製造用電解槽において、前記陽イオン交換膜がパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であり、陽極室枠をフッ素樹脂で形成し、前記陽極触媒として白金族金属及びその酸化物から選択される1又は2以上の金属又は金属酸化物を使用し、前記陰極触媒として白金及び/又はカーボン製の多孔性シートを使用し、前記陽極室に純水及び/又は塩酸を供給し、陽極及び陰極間に通電することにより陽極室で酸性水を製造することを特徴とする電子機器洗浄用酸性水製造用電解槽。
IPC (3件)：
C25B 9/00 302
, C02F 1/46
, C25B 13/08 302
C25B 9/00 302
, C02F 1/46 A
, C25B 13/08 302
