特許

J-GLOBAL ID：200903093669404747

光短波長化装置

発明者： 羽根 博樹 ,  眞峯 隆義 ,  金田 有史 ,  大垣 英明 ,  豊川 弘之 ,  三角 智久
出願人/特許権者： ソニー株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (2件)： 山本 孝久 ,  山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-332580
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139758
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】電子線源からの電子ビームのエネルギーが変動したとしても、かかる変動が、短波長化された光の波長の変動となって表れることがなく、あるいは又、短波長化された光の波長を容易に変更することができる光短波長化装置を提供する。【解決手段】電子線源10とレーザ光源20と真空チャンバー30とを備え、電子線源10から射出された相対論的速度で運動する電子ビーム中の電子とレーザ光源20から射出されたレーザビーム中の光子とを真空チャンバー30内で衝突させて、電子の有するエネルギーをレーザビームの光子に与え、散乱光を短波長化する光短波長化装置は、散乱光の波長を変更するために、電子と光子の衝突の前に、レーザビームと電子ビームとの衝突角度を変更するための角度変更手段21,22を備えている。

請求項（抜粋）：

電子線源とレーザ光源と真空チャンバーとを備え、電子線源から射出された相対論的速度で運動する電子ビーム中の電子とレーザ光源から射出されたレーザビーム中の光子とを真空チャンバー内で衝突させて、電子の有するエネルギーをレーザビームの光子に与え、散乱光を短波長化する光短波長化装置であって、散乱光の波長を変更するために、電子と光子の衝突の前に、レーザビームと電子ビームとの衝突角度を変更するための角度変更手段を備えていることを特徴とする光短波長化装置。

IPC (5件)：

G02F 2/02 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/30 ,  G21K 5/02

FI (5件)：

G02F 2/02 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/30 ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 527

Fターム (12件)：

2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  2K002AB12 ,  2K002BA20 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F046CB02 ,  5F072AB02 ,  5F072AC10 ,  5F072JJ20 ,  5F072QQ01 ,  5F072YY08