特許
J-GLOBAL ID：200903093674137862
拡大投影型露光装置における投影像のアライメント方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086527
公開番号（公開出願番号）：特開平7-295229
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 非テレセントリックな光学系を有する拡大投影型露光装置において、カラー液晶表示パネルの回路パターンを、カラーフィルタと高い重ね合わせ精度を保ちながら露光できるようにすることである。【構成】 まず、カラーフィルタ基板(カラーフィルタパターンが形成されている)がステージ107上に供給され、その上に形成されているアライメントマークの位置が予め測定されてメモリ内に記憶される。次に、(回路パターンが露光される)ガラス基板103がステージ107上に供給され、メモリ内に記憶された測定結果に基づいて、当該ガラス基板103の3次元空間内での好ましい露光位置および傾きが演算される。次に、当該演算結果に基づいて、ステージ107が微動され、ガラス基板103の露光位置および傾きが調整される。その結果、たとえカラーフィルタ基板上のカラーフィルタパターンが正しい絶対寸法から変形していても、回路パターンがそのような変形に応じて変形されてガラス基板103上に露光されるので、回路パターンとカラーフィルタとの間で重ね合わせ精度が良好なものとなる。
請求項（抜粋）：
カラー液晶表示パネルの製造のために用いられる拡大投影型露光装置において、基板上に投影される像の露光位置をアライメントするための方法であって、前記拡大投影型露光装置は、その上面に基板が載置されるステージと、レチクルを透過した光パターンを前記ステージ上の基板に拡大投影し、少なくとも当該基板との間の主光線がその光軸に対して傾いている非テレセントリックな投影レンズと、前記ステージを前記投影レンズの光軸と直交するXY平面内で駆動する第1の駆動手段と、前記ステージを、少なくとも3カ所において、前記投影レンズの光軸と平行なZ軸方向に独立的に駆動する第2の駆動手段と、前記基板上に形成されたまたは投影されたアライメントマークまたはその像を観察する複数のアライメントスコープと、前記ステージの前記XY平面内での位置を検出するXY位置検出手段と、前記Z軸方向に沿った前記基板の上面位置を、複数の箇所において検出する上面位置検出手段とを備えており、その上面にカラーフィルタパターンおよび複数のアライメントマークが形成された第1の基板を、前記ステージ上に供給する第1のステップと、前記第1および第2の駆動手段によって前記ステージを移動させることにより、前記第1の基板を3次元空間内の予め定める所定の位置に固定する第2のステップと、前記第1の基板上の各アライメントマークを前記各アライメントスコープで観察し、それらのXY平面内での位置を前記XY位置検出手段を用いて測定する第3のステップと、前記第3のステップの測定結果をメモリに記憶保持する第4のステップと、前記ステージ上の第1の基板を、回路パターンが露光されるべき第2の基板と差し替える第5のステップと、前記メモリに記憶保持された測定結果に基づいて、3次元空間内での前記第2の基板の好ましい露光位置および傾きを演算する第6のステップと、前記第6のステップの演算結果に基づいて、前記第1および第2の駆動手段を制御することにより、前記第2の基板の露光位置および傾きを調整する第7のステップとを備える、投影像のアライメント方法。
IPC (3件)：
G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01L 21/027
