非極性分散媒を用いた遊離砥粒研磨スラリー組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-327194
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140431
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】 (1) 非極性(非水系)分散媒中に親水性が強い研磨材粒子を均一に分散させること、(2) 研磨スラリーの臭気をなくすこと、(3) スラリー研磨液の蒸発をなくすこと、(4) 被研磨物の腐食の問題を解決すること。【解決手段】分子骨格中に二重結合又は三重結合又は分枝を有するノニオン性界面活性剤を使用して親水性の研磨材粒子を非極性分散媒に均一に分散させた研磨スラリー組成物。

請求項（抜粋）：

親水性粒子である研磨材粒子を疎水化処理剤を用い非極性分散媒中に均一に分散させた研磨スラリー組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 , B24B 37/00 , H01L 21/304 321

FI (3件)：

C09K 3/14 550 Z , B24B 37/00 H , H01L 21/304 321 P

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭56-145968
特開昭64-075594
特開昭63-151352

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