特許
J-GLOBAL ID：200903093678648632
厚膜アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267344
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120578
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 短小軽薄化で信頼性の高い厚膜アクチュエータを提供する。【構成】 支持体1と厚膜圧電材料6とを用いてダイヤフラム構造に形成した。
請求項（抜粋）：
支持体と厚膜圧電材料とからなり、ダイヤフラム形状に形成されたことを特徴とする厚膜アクチュエータ。
IPC (2件)：
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