ガスの安定供給方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (5件)：曾我道照 , 曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-005569
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220237
出願日： 2003年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】複数のガス供給源からガス流路を介して複数のガス消費地にガスを供給する際、各ガス消費地へのガス供給量を変動させることなく、かつ、ガス供給系内にガス混合器やバッファータンク等を設置することなく各ガス消費地にガスを安定的に継続して供給できる方法を提供することを課題とする。【解決手段】ガス流路に、ガス流量を調節するガス流量調節弁1a〜1dと、ガス圧力を調節するガス圧力調節弁2a〜2dと、ガス圧力を計測するガス圧力計測器4a〜4dとを設け、ガス圧力計測器4a〜4dにて得られた圧力信号に基づいてガス流路の圧力変動が小さくなるような制御変数を動的圧力変動解析により決定し、この制御変数を用いてガス流量調節弁1a〜1d及び/又はガス圧力調節弁2a〜2dの開度をPID制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のガス供給源からガス流路を介して複数のガス消費地にガスを安定供給する方法であって、ガス流路には、ガス圧力を計測するガス圧力計測器と、ガス圧力を調節するガス圧力調節弁と、ガス流量を調節するガス流量調節弁とが設けられ、ガス圧力計測器にて得られた圧力信号に基づいてガス流路の圧力変動が小さくなるような制御変数を動的圧力変動解析により決定し、この制御変数を用いてガス圧力調節弁及び/又はガス流量調節弁の開度をPID制御することを特徴とするガスの安定供給方法。

IPC (2件)：

G05D7/06 , F17D3/01

FI (2件)：

G05D7/06 Z , F17D3/01

Fターム (27件)：

3J071AA02 , 3J071BB12 , 3J071BB14 , 3J071CC02 , 3J071CC12 , 3J071EE02 , 3J071EE24 , 3J071EE25 , 3J071FF03 , 3J071FF04 , 5H307AA02 , 5H307BB04 , 5H307CC01 , 5H307CC11 , 5H307DD02 , 5H307DD11 , 5H307EE02 , 5H307EE06 , 5H307ES01 , 5H307FF01 , 5H307FF12 , 5H307GG05 , 5H307GG09 , 5H307HH04 , 5H307HH08 , 5H307JJ03 , 5H307KK03

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-250114
特開昭61-188607
多変数制御パラメータ調整支援装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-033829 出願人：株式会社東芝

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