特許

J-GLOBAL ID：200903093686224477

走査型プローブによる信号検出装置、および原子間力顕微鏡

発明者： 井辻 健明 ,  紫藤 俊一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118311
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304756
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】プローブを構成するピエゾ抵抗素子の抵抗変化量として得られた出力電圧信号に含まれるオフセット信号を、高感度に信号検出し、ピエゾ抵抗のばらつきによる影響をなくしマルチ化にも適した走査型プローブによる信号検出装置、及び該装置による原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】試料表面に対向配置のプローブを、試料表面に近接二次元走査させ、試料表面とプローブの先端に働く物理量を、プローブのたわみ量として検出し、該たわみ量をプローブを構成するピエゾ抵抗素子のピエゾ抵抗値の変化として検出する走査型プローブによる信号検出装置であり、前記プローブに定電圧バイアスを印加して抵抗変化量として得た入力電流信号を、出力電圧信号に変換する信号検出系と、該信号検出手段の出力電圧信号に含まれるオフセット信号成分を検出除去するオフセット信号検出系とを有する。

請求項（抜粋）：

試料表面に対向して配置されるプローブを、前記試料表面に近接させ二次元走査させ、前記試料表面と前記プローブの先端に働く物理量を、前記プローブのたわみ量として検出し、該たわみ量を前記プローブを構成するピエゾ抵抗素子のピエゾ抵抗値の変化として検出する走査型プローブによる信号検出装置であって、前記プローブに定電圧バイアスを印加して抵抗変化量として得られた入力電流信号を、出力電圧信号に変換する信号検出系と、該信号検出手段の出力電圧信号に含まれるオフセット信号成分を検出して除去するオフセット信号検出系と、を有することを特徴とする走査型プローブによる信号検出装置。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 9/00

Fターム (24件)：

2F063AA43 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063FA07 ,  2F063FA10 ,  2F063GA57 ,  2F063LA11 ,  2F069AA60 ,  2F069DD19 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ25 ,  2F069MM04 ,  2F069QQ07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115356   出願人：キヤノン株式会社
• 歪み検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-066596   出願人：オリンパス光学工業株式会社