特許
J-GLOBAL ID：200903093688654991
投影光学系
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107936
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292590
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】高倍率でありながらレンズ径及びレンズ系全長のコンパクト化を達成すること、及び、少ない偏芯量で効果的に台形歪みを補正すること。【解決手段】1次像面を1次像面に対して傾いた関係にある2次像面として投影する投影光学系において、絞りと、互いに偏芯した2つ以上のレンズ群とを備えるとともに、1次像面から2次像面までの間で中間実像を形成することなく、さらに以下の条件式を満足することを特徴とする投影光学系:-0.3<Sr/Se<1/|βr|但し、βr:縮小像面側の倍率、Se:絞りより拡大像面側に存在する各レンズ素子の屈折力の和、Sr:絞りより縮小像面側に存在する各レンズ素子の屈折力の和である。
請求項（抜粋）：
1次像面を斜め方向から2次像面に投影する投影光学系において、絞りと、互いに偏芯した2つ以上のレンズ群とを備えるとともに、1次像面から2次像面までの間で中間実像を形成することなく、さらに以下の条件式を満足することを特徴とする投影光学系:-0.3<Sr/Se<1/|βr|但し、βr:縮小像面側の倍率、Se:絞りより拡大像面側に存在する各レンズ素子の屈折力の和、Sr:絞りより縮小像面側に存在する各レンズ素子の屈折力の和である。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 27/18 Z
, G02B 13/24
