特許
J-GLOBAL ID：200903093689371594
電気光学結晶を有する集積回路検査装置における接続機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308645
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160495
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、電気光学結晶を有する集積回路検査装置において、被測定集積回路の入出力端子と電気光学結晶とを接続する接続機構に関し、安価で信頼性の高い接続機構の実現を目的とする。【構成】 集積回路の入出力端子11を押し付けることにより、入出力端子11と電気光学結晶4との間に圧接され、電気光学結晶4と入出力端子11を電気的に接続する球状弾性導体1を備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
一方の面が被測定集積回路の入出力端子(11)に電気的に接続される電気光学結晶(4)を備え、前記入出力端子(11)の電圧を、前記電気光学結晶(4)内を反射往復する光の偏光状態の変化として検出可能にした集積回路検査装置における前記電気光学結晶(4)の前記入出力端子(11)との接続機構であって、前記入出力端子(11)を押し付けることにより該入出力端子(11)と前記電気光学結晶(4)との間に圧接され、前記電気光学結晶(4)と前記入出力端子(11)を電気的に接続する球状弾性導体(1)を備えることを特徴とする電気光学結晶を有する集積回路検査装置における接続機構。
IPC (3件)：
G01R 31/302
, G01R 19/00
, H01L 21/66
