特許
J-GLOBAL ID：200903093690044432
レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242839
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105715
出願日： 1994年10月06日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 一対のセンサヘッドが対向配置されてなるレーザ厚み測定機において、従来よりも定量的にかつ確実に両センサヘッドの光軸合わせが行えるようにする。【構成】 厚みtが既知の試料Sを用いるとともに、両センサヘッドH1,H2の間にあって互いの光軸O1,O2に対して共通に直交する平面Pを仮想したとき、この仮想平面P上に互いに直交するX軸,Y軸を設定し、試料SをX軸、Y軸の各方向において仮想平面Pからそれぞれ所定の角度θX,θYだけ傾斜させた後、試料Sの厚みを個別に測定しつつ、その測定されたX軸に関する厚みtmXはt/cosθX,Y軸に関する厚みtmYはt/cosθYとなるように、少なくとも一方のセンサヘッドH1を仮想平面Pと平行に、かつ、X軸方向またはY軸方向に沿ってそれぞれ移動させて両センサヘッドH1,H2の相対位置を調整する。
請求項（抜粋）：
一対のセンサヘッドが対向配置されてなるレーザ厚み測定機の、前記両センサヘッドの互いの光軸を一致させるための方法であって、厚みtが既知の試料を用いるとともに、前記両センサヘッドの間にあって互いの光軸に対して共に直交する一つの平面を仮想したとき、この仮想平面上に互いに直交するX軸,Y軸を設定し、前記試料を、X軸方向において仮想平面から所定の角度θXだけ傾斜させた後、試料の厚みを測定しつつ、その測定された厚みtmXがt/cosθXとなるように、少なくとも一方のセンサヘッドを前記仮想平面と平行に、かつ、X軸方向に沿って移動させて両センサヘッドの相対位置を調整し、次に、前記試料を、Y軸方向において仮想平面から所定の角度θYだけ傾斜させた後、試料の厚みを測定しつつ、その測定された厚みtmYがt/cosθYとなるように、少なくとも一方のセンサヘッドを前記仮想平面と平行に、かつ、Y軸方向に沿って移動させて両センサヘッドの相対位置を調整する、ことを特徴とするレーザ厚み測定機の光軸合わせ方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
