特許
J-GLOBAL ID：200903093692408261
露光データ処理方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-118667
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333796
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明はパターン相互間の関係を露光量に反映させて、高い精度の露光データを生成できる露光データ生成方法および装置を提供することを目的とする。【構成】 露光対象領域にある各パターンごとに露光量に関する露光量データを生成するステップ(a)と、ステップ(a)で求めた露光量データに基づいて、各パターンを順次補正対象パターンとしてその周囲の所定範囲内にあるパターンとの位置関係に基づく露光量データの補正の度合を示す露光距離データを算出するステップ(b)と、ステップ(a)で求めた露光量データをステップ(b)で求めた露光距離データで補正して、各パターンの補正された露光量データを生成するステップ(c)と、該補正された露光量データに基づき、各パターンの照射量を算出するステップ(d)とを有する。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成されるパターンに対応する露光データを作成する方法において、(a)露光対象領域にある各パターンごとに露光量に関する露光量データを生成するステップと、(b)ステップ(a)で求めた露光量データに基づいて、各パターンを順次補正対象パターンとしてその周囲の所定範囲内にあるパターンとの位置関係に基づく露光量データの補正の度合を示す露光距離データを算出するステップと、(c)ステップ(a)で求めた露光量データをステップ(b)で求めた露光距離データで補正して、各パターンの補正された露光量データを生成するステップと、(d)該補正された露光量データに基づき、各パターンの照射量を算出するステップとを有することを特徴とする露光データ処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 G
, H01L 21/30 311 S
