特許

J-GLOBAL ID：200903093694089864

照明光学装置及び半導体素子の製造方法

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019912
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209028
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】高出力のエキシマレーザーを用いてもレンズを構成するレンズ部材の寿命を損なうことのない照明光学装置を提供する。【解決手段】エキシマレーザーから射出される平行光束を拡大または等倍の平行光束に変換するアフォーカル光学系を有する照明光学装置において、アフォーカル光学系は、少なくとも3群のレンズ群を有し、該3群のレンズ群は、光源側より順に、負屈折力を有する第1レンズ群、正屈折力を有する第2レンズ群、及び正屈折力を有する第3レンズ群からなるか、または少なくとも3群のレンズ群を有し、該3群のレンズ群は、光源側より順に、正屈折力を有する第1レンズ群、正屈折力を有する第2レンズ群、及び負屈折力を有する第3レンズ群からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザーから射出される平行光束を拡大または等倍の平行光束に変換するアフォーカル光学系を有する照明光学装置において、前記アフォーカル光学系は少なくとも3群のレンズ群を有し、該3群のレンズ群は、光源側より順に、負屈折力を有する第1レンズ群、正屈折力を有する第2レンズ群、及び正屈折力を有する第3レンズ群からなることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 13/00 ,  G02B 19/00

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 13/00 ,  G02B 19/00 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 527