特許
J-GLOBAL ID:200903093708955403

カラーフィルタの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 昭彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-279099
公開番号(公開出願番号):特開2003-084120
出願日: 2001年09月14日
公開日(公表日): 2003年03月19日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、最初に透過率の低い着色層を形成しない場合であっても、アライメントマークの識別度を上げてカラーフィルタとフォトマスクとのアライメントを行い、カラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、3色以上の着色層からなるカラーフィルタの製造方法において、透過率の高い少なくとも2色の着色層を積層したアライメントマークを用いて、透過率の低い着色層のパターンを形成するカラーフィルタの製造方法を提供する。
請求項(抜粋):
3色以上の着色層からなるカラーフィルタの製造方法において、透過率の高い少なくとも2色の着色層を積層したアライメントマークを用いて、透過率の低い着色層のパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (3件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 520
FI (3件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 520
Fターム (13件):
2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB03 ,  2H048BB42 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA14Y ,  2H091FB04 ,  2H091FB12 ,  2H091FC10 ,  2H091FD04 ,  2H091LA12
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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