特許

J-GLOBAL ID：200903093719462492

光制御MEMスイッチ

発明者： スー,ツング-ユアン ,  ルー,ロバート,ワイ. ,  タンゴ-ナン,グレッグ ,  ラム,ジュアン,エフ.
出願人/特許権者： エイチアールエル ラボラトリーズ,エルエルシー
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-534167
公開番号（公開出願番号）：特表2003-513411
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：

【要約】MEMスイッチが組み付けられる半導体基板の光導電特性を利用するのが望ましい光制御微小電気機械(MEM)スイッチについて説明する。一実施形態では、スイッチの動作を行うために供給されるバイアス電圧は、そのスイッチの光電部分に光を当てることで変化して、そのスイッチを動作しないようにする。他の実施形態では、全くバイアス線なしで、光起電力装置がスイッチを作動する電圧を供給する。印加電圧に応じた電気機械スイッチングのヒステリシスのために、光制御の下でスイッチを素早く開かせ、または閉じさせるためには、スイッチに印加される電圧のただ比較的小さな変化だけが必要である。

請求項（抜粋）：

静電力で作動する光制御式機械スイッチであって、 電荷を蓄積するように前記スイッチの対向する部分に配置された静電極板と、 バイアス電源から前記静電極板に電荷を伝える導体と、 前記バイアス電源から前記静電極板に届く電荷の量に影響を及ぼすように配列された光電素子とを備え、前記スイッチは、前記光電素子が第1のレベルの照明に曝された時に、第1の位置に作動され、また、前記光電素子が異なる第2のレベルの照明に曝された時に第2の位置に作動されるようになる光制御式機械スイッチ。

IPC (4件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 35/00 ,  H01H 47/22

FI (4件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 35/00 L ,  H01H 47/22 A

Fターム (7件)：

5G055AA01 ,  5G055AB01 ,  5G055AD04 ,  5G055AE12 ,  5G055AG13 ,  5G057AA01 ,  5G057KK27