特許
J-GLOBAL ID：200903093736718174
断面薄膜試料及びその作製方法及び断面薄膜試料用ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137201
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304243
出願日： 1995年05月11日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 材料の特定箇所に対して2方向以上を一度に解析可能な断面薄膜試料及びその作製方法及び断面薄膜試料用ホルダを提供する。【構成】 材料の特定箇所を含む領域1を凸状かつ島状に機械加工し、集束イオンビーム5による穴あけ加工により、特定箇所のある一点より放射状に互いに角度をなす断面薄膜試料6を少なくとも2つ以上形成した試料片3を作製する。その試料片3を支持するホルダを、TEM試料室への挿入時の真空保持のためのOリング15を備えた試料固定棒11と、それを支持する支持棒12と、試料固定棒11の先端部に傾動可能に設けたリング16と、リングにより回転可能に支持されかつ試料片3を固定可能な円板17とにより構成する。【効果】 材料の特定箇所に、観察可能でありかつ異なる薄膜断面試料を少なくとも2つ以上作製可能になり、特定箇所の総合的な解析が実現できる。
請求項（抜粋）：
材料の構造解析及び組成分析を行うための特定箇所を含む凸状かつ島状に形成された領域中に、前記特定箇所の任意の一点より放射状に存在しかつ互いに角度をなす断面薄膜を少なくとも2つ以上形成したことを特徴とする断面薄膜試料。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/28 F
, H01J 37/20 A
, H01J 37/20 F
