特許
J-GLOBAL ID：200903093737392400
X線結晶方位測定装置とそれに使用する結晶試料保持装置、並びに、それに使用する結晶定方位切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297628
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069769
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 巨大結晶の結晶方位を測定して所望の方位で切り出す結晶定方位切断方法を提供し、そのためのX線結晶方位測定装置と結晶試料保持装置を提供する。【解決手段】 測定用小孔11を備えた試料テーブル10上に配置されたサンプルホルダー20に結晶試料Sの被測定面を下面にして載置し、テーブルの下方に配置されたX線管100からのX線をコリメータ110を介して被測定面へ照射し、その回折像をCCDカメラ120で撮像し、これにより結晶定方位を測定する。なお、試料テーブル10上のサンプルホルダー20は、金枠21の裏面に透明シート22を付着してなり、その中央部に結晶試料Sを載せて自在に移動可能である。所望の結晶方位で切断する結晶体Cは、その一部が切り出され、上記のX線結晶方位測定装置によって、その切断面における結晶方位が測定され、その後、測定結果により前記結晶体の切り出し面を決定して所望の方位に沿って結晶体の切断が行なわれる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
その一部に測定用小孔を形成し、結晶試料の被測定面を下面にして載置可能な試料テーブルと、前記テーブルの下方に配置され、X線を前記測定用小孔を介して前記結晶試料の被測定面に照射する手段と、前記結晶試料の被測定面からの回折像を撮像する手段と、前記撮像手段により撮像された回折像に基づいて、前記結晶試料の被測定面における結晶定方位を測定することを特徴とするX線結晶方位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (26件)：
2G001AA01
, 2G001BA19
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001DA10
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001JA06
, 2G001JA07
, 2G001KA08
, 2G001NA21
, 2G001PA11
, 2G001QA02
, 2G001QA10
, 2G001RA01
, 2G001SA02
, 2G052AA00
, 2G052AA21
, 2G052AD52
, 2G052DA33
, 2G052EC02
, 2G052FD20
, 2G052GA19
, 2G052JA04
出願人引用 (2件)
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特公平4-59581号公報(特開昭57-136151号公報);第3図
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特公平3-58058号公報(特開昭57-136150号公報);第4図
審査官引用 (1件)
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