特許

J-GLOBAL ID：200903093739913458

露光装置

発明者： 岡谷 秀樹
出願人/特許権者： 日本精工株式会社 ,  NSKプレシジョン株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-327845
公開番号（公開出願番号）：特開2005-092027
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】 インデクサーによるワークのインデックス時にワークの新たな被露光部位を露光位置に正確に位置決めできる露光装置を提供する。【解決手段】 露光位置Pに送られた帯状のワーク12の被露光部位にマスク21,22のパターンを露光転写し、その後、送り手段でワーク12を所定の送り量で下流側に搬送するようにした露光装置において、送り手段は、露光位置Pの上流側及び下流側にそれぞれ配置されてワーク12の送り方向に一体的に移動可能な第1のインデクサー17及び第2のインデクサー18を備え、各インデクサー17,18は、露光後にワーク12をクランプして所定の送り量で下流側に搬送すると共に、該搬送後、前記クランプを解除した状態で元の位置に復帰して露光位置Pに送られたワーク12をクランプする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

露光位置に送られた帯状のワークの被露光部位にマスクのパターンを露光転写し、その後、送り手段で前記ワークを所定の送り量で下流側に搬送するようにした露光装置において、 前記送り手段は、前記露光位置の上流側及び下流側にそれぞれ配置されて前記ワークの送り方向に一体的に移動可能な第1のインデクサー及び第2のインデクサーを備え、各インデクサーは、露光後に前記ワークをクランプして所定の送り量で下流側に搬送すると共に、該搬送後、前記クランプを解除した状態で元の位置に復帰して前記露光位置に送られた前記ワークをクランプすることを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F7/20

FI (1件)：

G03F7/20 501

Fターム (3件)：

2H097AA01 ,  2H097DB12 ,  2H097GA45