特許
J-GLOBAL ID:200903093743415780
位相差顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-134054
公開番号(公開出願番号):特開2001-311875
出願日: 1992年02月18日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】コントラストを容易且つスムーズに設定できて、しかも適宜調整することができるようにした位相差顕微鏡を提供する。【解決手段】可干渉光を発する光源17と、この光のx偏波とy偏波の位相差を変える偏波可変素子18とを有する。試料5で分離する透過光と回折光を複合偏光板68で夫々x偏波とy偏波だけを透過させる。そして、夫々偏光板8によりCCD9上に干渉像を結像させる。偏波制御装置28で偏波可変素子18を制御して光の偏波状態を変えて、像の明暗を変化させる。
請求項(抜粋):
試料を照射する光源と、該試料から射出される透過光と回折光とを干渉像が得られるように観察面上に導くための干渉像生成手段と、該干渉像を検出する検出手段とを有する位相差顕微鏡において、前記光源から検出手段までの間に配置されていて光の偏波状態を変化させる偏波状態可変手段と、前記透過光から特定の偏波成分を摘出する第一の偏波摘出手段と、該第一の偏波摘出手段が摘出する偏光方向と交差する偏光成分を回折光から摘出する第二の偏波摘出手段とを備えたことを特徴とする位相差顕微鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2H052AA03
, 2H052AC05
, 2H052AC10
, 2H052AD34
, 2H052AF14
, 2H052AF25
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭61-164105
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特開昭61-260211
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