特許
J-GLOBAL ID:200903093749413542
電界効果型トランジスタ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-017090
公開番号(公開出願番号):特開平11-214408
出願日: 1998年01月29日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】 大電流化に対応した電界効果型トランジスタを得ようとすると、高周波特性が劣化したり、素子が大型化するという問題があった。【解決手段】 ゲート電極配線を格子状に形成し、このゲート電極配線の格子の中にソース・ドレイン電極を島状に分離して形成し、この島状のソース・ドレイン電極のそれぞれを前記ゲート電極配線を越えて相互に接続した。
請求項(抜粋):
ゲート電極配線を格子状に形成し、このゲート電極の配線格子の中にソース・ドレイン電極を島状に分離して形成し、この島状のソース・ドレイン電極のそれぞれを前記ゲート電極配線を越えて相互に接続した電界効果型トランジスタ。
IPC (3件):
H01L 21/338
, H01L 29/812
, H01L 21/203
FI (2件):
H01L 29/80 L
, H01L 21/203
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭63-211771
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特開昭60-053085
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特開平3-027534
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