特許

J-GLOBAL ID：200903093763187520

熱電素子の製造方法

発明者： 山崎 琢也 ,  飯塚 博之
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263679
公開番号（公開出願番号）：特開平8-125240
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 多層化による高機能化が容易なシート積層法により、高密度かつ高強度で取り扱い性、信頼性に優れた熱電素子を製造する。【構成】 結合剤としてポリビニルブチラールを用いた珪化物を含むグリーンシートを積層し、得られた積層体を脱脂した後、焼成することにより熱電素子を製造する方法において、前記積層体の脱脂を、350°C〜400°Cの温度範囲で行う。【効果】 シート積層法における脱脂工程での珪化物の酸化を防止して、高密度で高特性な熱電素子を製造できる。

請求項（抜粋）：

結合剤としてポリビニルブチラールを用いた珪化物を含むグリーンシートを積層し、得られた積層体を脱脂した後、焼成することにより熱電素子を製造する方法において、前記積層体の脱脂を、350°C〜400°Cの温度範囲で行うことを特徴とする熱電素子の製造方法。