特許
J-GLOBAL ID：200903093768170529
複数平行溝の加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127820
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325039
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【構成】 マスキング材層14を使用して砥粒18の吹付けやエッチング等で第1の薄板ガラス12に複数のスリット12A、12A...を形成した。次に、第2の薄板ガラス20に、複数のスリット12A、12A...が形成された第1の薄板ガラス12を接着して複数のスリット12A、12A...を平行溝22、22...に形成した。【効果】 砥粒の吹付けやエッチング等で複数の平行溝を形成して、微小ピッチの平行溝を容易に加工する。
請求項（抜粋）：
支持板に第1の板状体を接合し、前記接合された第1の板状体の表面に、複数のスリットが互いに平行に形成されたマスキング材層を形成し、前記マスキング材層の複数のスリットに露出した前記第1の板状体を噴射砥粒又はエッチングで除去して、第1の板状体に複数のスリットを互いに平行に加工し、前記マスキング材層を前記第1の板状体の表面から剥離し、前記マスキング材層が剥離された前記第1の板状体の表面を第2の板状体に接着し、前記第1の板状体から前記支持板を剥離して、前記第1の板状体に形成された前記複数のスリットから複数の平行溝を形成することを特徴とする複数平行溝の加工方法。
IPC (3件)：
C03C 19/00
, B24C 1/04
, C23F 1/00
C03C 19/00 Z
, B24C 1/04 F
, C23F 1/00 A
