特許
J-GLOBAL ID：200903093769313250
光学式非接触距離測定機及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277802
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102028
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 表面粗さの影響を受けず、精度良く測定することがでる光学式非接触距離測定機を提供することである。【構成】 ビームスポット径を可変にして、被検物の表面粗さのピッチに合わせて最適なビームスポット径を選択できるようにした。
請求項（抜粋）：
光源から射出する光を被検物に光スポットを投光する投光光学系と、該被検物の表面に投光された光スポットの像を結像する受光光学系と、該光スポットの結像位置を検出する検出器とを有する光学式非接触距離測定機において、該被検物の表面に投光される該光スポットの大きさを変化させる可変手段を設けたことを特徴とする光学式非接触距離測定機。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01C 3/06
, G02B 7/28
