特許

J-GLOBAL ID：200903093772498563

研磨装置

発明者： 宮▲崎▼ 恭一 ,  ▲高橋▼ 一雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-108004
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】 研磨能力の高い研磨フィルムを短時間で交換して被研磨体の被研磨面を研磨する。【解決手段】 帯状研磨フィルム8を研磨面へ供給する帯状研磨フィルム供給手段9と、研磨面へ供給された帯状研磨フィルム回収手段10とを、研磨ヘッド4の自転軸20上に位置するように設けた研磨ヘッド4を被研磨体1に当接して研磨する。

請求項（抜粋）：

研磨ヘッドと、被研磨体を保持するための被研磨体保持手段と、前記研磨ヘッドを自転させる駆動手段と、を有し、前記研磨ヘッドの面が前記被研磨体保持手段に対向して配置される研磨装置において、帯状研磨フィルムを前記面に供給する帯状研磨フィルム供給手段の重心と、前記帯状研磨フィルムを前記面から回収する帯状研磨フィルム回収手段の重心とが前記研磨ヘッドの自転軸上に位置するように、前記帯状研磨フィルム供給手段と、前記帯状研磨フィルム回収手段とを有することを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 21/00 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621

FI (3件)：

B24B 21/00 A ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 621 B

Fターム (9件)：

3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA11 ,  3C058AA15 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA09 ,  3C058DA17