特許

J-GLOBAL ID：200903093774928190

波長変換光学系及びこの波長変換光学系を用いた露光装置

発明者： 大澤 日佐雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-282952
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090787
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 角度位相整合を行う波長変換光学系において、光源からの光の出射角度が変化しても波長変換効率が変化しない波長変換光学系を得る。【解決手段】 後段の非線形光学結晶B1に対して光源とみなせる前段の非線形光学結晶A1と、これ等の非線形光学結晶の間に配設されて前段の非線形光学結晶から射出される光を集光入射させるレンズR1とを有する波長変換光学系において、前段の結晶A1におけるビームスポットとレンズR1との距離をa、レンズRの焦点距離をf、レンズR1と後段の結晶B1に形成されるビームスポットとの距離をbとしたときに、距離aがレンズの焦点距離fとほぼ等しくなるようにfとaとの関係を設定する。あるいはf-aがbに比べて小さくなるようにfとa及びbの関係を設定する。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から射出された光を前記光源の波長と異なる波長の光に変換する第1の非線形光学結晶と、前記光源と前記第1の非線形光学結晶との間に配設されて前記光源から射出された光を集光して前記第1の非線形光学結晶に入射させるレンズとを有する波長変換光学系であって、前記光源において最小スポットサイズになるビームスポットと前記レンズとの距離aが、前記レンズの焦点距離fとほぼ等しいことを特徴とする波長変換光学系。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (13件)：

2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002EA30 ,  2K002GA05 ,  2K002HA20 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB27