特許

J-GLOBAL ID：200903093779789148

赤外線センサ素子

発明者： 中木 義幸 ,  秦 久敏 ,  曽根 孝典
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132559
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321125
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 赤外線検出感度に優れた赤外線センサ素子を提供することを目的とする。【解決手段】 赤外線吸収層2と反射層10との間に共振空間13が形成されるように、少なくとも1つの熱伝達柱4を用いて反射層10に赤外線吸収層2を支持し反射層10と感温層7とを絶縁体膜14を介して接合し、赤外線吸収層2で発生した熱を熱伝達柱4、反射層10及び絶縁膜14を介して感温層7に伝達させた。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に、支持脚を用いて該半導体基板から離れて設けられた感温層と、該感温層の上に互いに所定の間隔を隔てて対向して設けられた反射層と赤外線吸収層とを備え、赤外線を該赤外線吸収層と該反射層との間で光学的に共振させて、上記赤外線を熱として上記感温層で検出する赤外線センサ素子であって、上記赤外線吸収層と上記反射層との間に共振空間が形成されるように、少なくとも1つの熱伝達柱を用いて上記反射層上に上記赤外線吸収層を支持しかつ、上記反射層と上記感温層とを絶縁体膜を介して接合したことを特徴とする赤外線センサ素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  H01L 37/00

FI (2件)：

G01J 1/02 C ,  H01L 37/00

Fターム (6件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB03 ,  2G065BA12 ,  2G065BA32 ,  2G065CA13