特許

J-GLOBAL ID：200903093782722348

移動制御方法及び被処理体位置検出装置

発明者： 工藤 博之 ,  荒木 真一郎
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-076325
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243347
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】[目的]カセット内に間隔を置いて収納される多数の被処理体の位置を正確に検出するとともに、位置検出のためのコストを低減する。[構成]可逆カウンタ10、サーボアンプ16、駆動回路18、サーボモータ20、ロータリエンコーダ22等からなるサーボ機構30は、メインコントローラ32の制御の下で、ウエハ搬送装置28を移動させるためのサーボ機構30を構成する。ウエハ搬送装置28には、ウエハカセット内のウエハを検出するためのウエハ検出手段が組み込まれている。ウエハマッピング時、メインコントローラ32は、ウエハ搬送装置28内のウエハ検出機構からのウエハ検出信号WDを入力した時のウエハ検出機構の移動位置をロータリエンコーダ22からの位置信号PAによって知り、その移動位置からウエハの位置を求める。

請求項（抜粋）：

サーボ機構によって所定の移動体を移動させる移動制御方法において、前記サーボ機構に含まれるフィードバック制御用の位置検出手段の出力信号を基に前記移動体の位置を監視することを特徴とする移動制御方法。