特許

J-GLOBAL ID：200903093783087140

サーボ装置

発明者： 新井 浩
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025061
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274505
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】 処理能力が低いDSPでサーボゲインを設定し直す。【解決手段】 信号切替器1は、センサから出力されたフォーカスエラー信号FE、トラッキングエラー信号TE、スレッドエラー信号SEを切り替える。DSP3はA/D変換器2の出力から駆動指示信号を演算する。各駆動指示信号の出力によりアクチュエータ6、9、12が時分割で駆動される。ゲイン測定時、DSP3は、あるサーボに印加した正弦波信号とサーボを一巡した信号との位相差を検出して、そのサーボのゲインを測定する。そして、この測定の間、それ以外のサーボ系については制御帯域を落とすか、オフ又はホールドする。こうして、DSP3の処理能力をゲイン測定のための処理に振り分ける。

請求項（抜粋）：

複数のサーボ系と、複数の制御対象と、前記制御対象のそれぞれの制御量を検出する複数のセンサと、検出された前記制御量から前記制御対象のそれぞれの操作量を求める演算処理装置とを有し、前記演算処理装置は、前記サーボ系のゲインを測定し、あるサーボ系のゲイン測定の間、他のサーボ系の制御帯域を落とすか、他のサーボ系をオフ又はホールド状態とすることを特徴とするサーボ装置。

IPC (7件)：

G05B 13/02 ,  G05B 7/02 ,  G05D 3/12 ,  G05D 3/12 304 ,  G05D 3/12 305 ,  G11B 7/09 ,  G11B 21/10

FI (8件)：

G05B 13/02 B ,  G05B 7/02 A ,  G05D 3/12 Q ,  G05D 3/12 304 ,  G05D 3/12 305 S ,  G05D 3/12 305 V ,  G11B 7/09 A ,  G11B 21/10 R