ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-145581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335538
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】本発明はステージ装置において、防振装置によつて支持された基盤上でテーブルの駆動による揺れが発生しても、テーブルと基盤との間の位置ずれを未然に防止して、全体としてスループツトを向上する。【構成】テーブル(7)をそのテーブル(7)の駆動軸(5)に沿つた方向に移動させる第2の駆動手段(22、23)を、第1の駆動手段(4)でテーブル(7)を駆動するときのテーブル(7)の加速度に応じた駆動力によつて駆動し、基盤(3)の揺れに対応する加速度をテーブル(7)に与えるようにしたことにより、第1の駆動手段(4)でテーブル(7)を駆動するときに発生する基盤(3)の揺れに起因する基盤(3)及びテーブル(7)間の相対的な位置ずれを補正する。

請求項（抜粋）：

防振装置によつて支持された基盤と、該基盤に駆動軸を介してほぼ剛に支持されたテーブルと、該テーブルを前記基盤上で所定の位置に位置決めする第1の駆動手段とを有するステージ装置において、前記テーブルを該テーブルの前記駆動軸に沿つた方向に移動させる第2の駆動手段と、前記第1の駆動手段で前記テーブルを駆動するときの前記テーブルの加速度を計測する加速度計測手段と、該加速度計測手段で計測した前記テーブルの加速度に応じて前記第2の駆動手段の駆動力を生成する駆動力生成手段とを具え、前記第1の駆動手段で前記テーブルを駆動するときに発生する前記基盤の揺れに起因する前記基盤及び前記テーブル間の相対的な位置ずれを補正するため、前記第2の駆動手段を前記駆動力によつて駆動し、前記基盤の揺れに対応する加速度を前記テーブルに与えるようにしたことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , G12B 5/00 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 515 G

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