製膜方法と液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びデバイスの製造方法、デバイス並びに電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-118294
公開番号（公開出願番号）：特開2003-311197
出願日： 2002年04月19日
公開日（公表日）： 2003年11月05日
要約：

【要約】【課題】少量他品種に対応可能、製造装置の構成が比較的簡単等はもちろんのこと、製膜工程を簡単化することで製造コストの大幅削減を可能とする製膜方法と液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びデバイスの製造方法、デバイス並びに電子機器を提供する。【解決手段】本発明の製膜方法は、複数種の液滴L1、L2を膜形成領域に吐出することにより、この膜形成領域に複数種の膜を形成する製膜方法であり、複数個の液滴吐出ノズル22a、24aを有する1つのインクジェットヘッド2を用いて、複数種の液滴L1、L2を吐出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数種の液滴を膜形成領域に吐出することにより、前記膜形成領域に複数種の膜を形成する製膜方法であって、複数個の液滴吐出ノズルを有する1つの液滴吐出ヘッドを用いて、前記複数種の液滴を吐出することを特徴とする製膜方法。

IPC (4件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , G02F 1/1343 , H05K 3/10

FI (4件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , G02F 1/1343 , H05K 3/10 D

Fターム (49件)：

2H092GA11 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB56 , 2H092MA01 , 2H092MA10 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 4D075AC08 , 4D075AC91 , 4D075AC93 , 4D075AE04 , 4D075BB24Z , 4D075BB36Z , 4D075BB37Z , 4D075BB47Z , 4D075BB48Z , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB31 , 4D075DC21 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA05 , 4D075EA12 , 4D075EC01 , 4D075EC07 , 4F041AA05 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA34 , 5E343AA02 , 5E343AA22 , 5E343AA26 , 5E343BB23 , 5E343BB24 , 5E343BB25 , 5E343BB44 , 5E343BB48 , 5E343BB49 , 5E343BB72 , 5E343DD15 , 5E343ER33 , 5E343FF05 , 5E343GG08 , 5E343GG11

引用特許：

審査官引用 (4件)

インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331829 出願人：ミノルタ株式会社
特開平1-281945
特開平1-281945

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