焦点位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051491
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261073
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 Fナンバーが異なる種々の対物光学系に対して、共通に所望の精度で合焦を行う。【構成】撮影レンズ11からの光束により第1中間像面P5付近に物体の像17が形成され、その像17が再結像光学系18を介して第2中間像面P7付近にリレーされる。再結像光学系18内の可動レンズ系20の位置を調整して、撮影レンズ11の瞳面と共役な面P6の位置を所定位置に固定し、その面P6上に絞り24を配置する。絞り24の開口を通過した2つの光束が、結像レンズ6A及び6Bを介してラインセンサ8上に物体の像を形成し、これら2つの像の間隔等に基づいて合焦用レンズエレメント11aの位置を調整して合焦を行う。

請求項（抜粋）：

移動自在な合焦レンズエレメントを有し、物体からの光を集光して該物体の像を形成する対物光学系の結像位置を検出し、前記合焦レンズエレメントを前記対物光学系の光軸方向へ移動させることにより、前記検出された結像位置を所定の位置に設定する焦点位置検出装置において、前記対物光学系によって形成される像を再結像する再結像光学系と、該再結像光学系内に配置され、該再結像光学系から射出される光束を複数の光束に分割する絞り手段と、該絞り手段及び前記再結像光学系により形成される像を光電的に検出する光電検出手段と、該光電検出手段からの検出信号に基づいて前記合焦レンズエレメントを前記対物光学系の光軸方向に駆動する対物光学系用駆動手段と、を有し、前記再結像光学系は、前記対物光学系の瞳面と前記再結像光学系内で共役な面の位置が一定の位置になるように位置決めされる可動光学系を有し、前記対物光学系の瞳面と前記再結像光学系内で共役な面上に前記絞り手段を配置することを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (4件)：

G02B 7/34 , G02B 7/28 , G01B 11/00 , G01C 3/06

FI (2件)：

G02B 7/11 C , G02B 7/11 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-063503
特開昭57-063503

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