特許

J-GLOBAL ID：200903093796605107

顕微分析装置

発明者： 羽持 満
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-312488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124206
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 周囲の振動、音響の入力により、電子顕微鏡等の顕微分析装置の構成部材がそれぞれの固有振動モードにて振動するとき、その振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を減衰させること。【解決手段】 ホルダ装着部材20と、ホルダ装着部材20と共に移動可能な移動部材17,18と前記移動部材17,18を支持する支持部材11とを有する装着部材支持装置(11〜19)と、装着部材支持装置の振動時に振動する振動抑制部材装着部52;61と、前記振動抑制部材装着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材51;62と、前記振動抑制部材装着部および前記慣性部材間に設けられて前記振動抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材53;63と有する振動抑制装置Ux;Uz。

請求項（抜粋）：

次の構成要件(A01)〜(A03)を備えたことを特徴とする顕微分析装置、(A01)顕微分析で使用される顕微分析部材を保持するホルダが装着されるホルダ装着部材、(A02)前記ホルダ装着部材を支持し且つホルダ装着部材と共に移動可能な移動部材と前記移動部材を支持する支持部材とを有する装着部材支持装置、(A03)前記装着部材支持装置の振動時に振動する振動抑制部材装着部と、前記振動抑制部材装着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材と、前記振動抑制部材装着部および前記慣性部材間に設けられて前記振動抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材とを有する振動抑制装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 23/225 ,  G02B 21/24

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  G01N 23/225 ,  G02B 21/24

Fターム (20件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001PA15 ,  2G001QA01 ,  2G001QA10 ,  2G001SA08 ,  2G001SA30 ,  2H052AD17 ,  2H052AD20 ,  2H052AD26 ,  5C001AA01 ,  5C001CC03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC05 ,  5C001DD03