レ-ザアニ-ル方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-324057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177033
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】この発明はアモルファスシリコン膜をレ-ザ光によって再現性を備えて多結晶化するレ-ザアニ-ル方法を提供することにある。【構成】基板8上に形成されたアモルファスシリコン膜7をレ-ザ光によって多結晶化するレ-ザアニ-ル方法において、上記アモルファスシリコン膜に連続発振される第1のレ-ザ光L1 を照射して結晶成長のシ-ドとなる多結晶シ-ド層31a、31bを形成したのち、上記アモルファスシリコン膜の上記多結晶シ-ド層に隣接する部分を第2のレ-ザ光L2 で照射して多結晶化することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたアモルファスシリコン膜をレ-ザ光によって多結晶化するレ-ザアニ-ル方法において、上記アモルファスシリコン膜に連続発振される第1のレ-ザ光を照射して結晶成長のシ-ドとなる多結晶シ-ド層を形成したのち、上記アモルファスシリコン膜の上記多結晶シ-ド層に隣接する部分を第2のレ-ザ光で照射して多結晶化することを特徴とするレ-ザアニ-ル方法。

IPC (3件)：

H01L 21/20 , C21D 1/34 , H01L 21/268

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-293720
特開平4-119633
特開平3-178124

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