特許
J-GLOBAL ID：200903093804813172
電気絶縁性板状材料の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-104905
公開番号（公開出願番号）：特開平6-299347
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 1工程で膜欠陥や電気的弱点部をほぼ皆無にした絶縁性に優れた電気絶縁材料を提供すること。【構成】 Al2O3ターゲットを用いたスパッタリング法によりステンレス基板上にAl2O3薄膜をAr雰囲気中で形成する電気絶縁性板状材料の製造方法において、薄膜形成時の酸素分圧を0.01mTorr以上0.04mTorr以下に調整する。【効果】 後処理等を必要とせず成膜の工程だけで、電気絶縁性に非常に優れた板状材料を製造できる。
請求項（抜粋）：
Al2O3ターゲットを用いたスパッタリング法によりステンレス基板上にAl2O3薄膜をAr雰囲気中で形成する電気絶縁性板状材料の製造方法において、前記Ar雰囲気中の酸素分圧を0.01mTorr以上0.04mTorr以下に調整することを特徴とする電気絶縁性板状材料の製造方法。
IPC (2件)：
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