特許

J-GLOBAL ID：200903093806282433

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： 木村 正治 ,  堀中 大 ,  乾 哲也 ,  的場 宏次 ,  平田 進 ,  石井 頼成 ,  恩田 裕 ,  阿部 新吾
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-299925
公開番号（公開出願番号）：特開平8-156267
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：

【要約】【目的】 接着剤や感光性樹脂のはみ出しや流路部分への流れ込みが生じず、感光性樹脂の膜厚や接着の際の加圧力等を厳密に管理しなくても全体的に均一で接着不良の無い接着状態および安定した流路形状が得られ、インク吐出時のヘッド特性が安定し、さらに簡便な製造工程によりインクジェット記録ヘッドが得られるようにする。【構成】 基板1上にラミネートされた感光性樹脂からなるドライフィルム2と、ドライフィルム2と同成分を含む液状フォトレジスト3とを、フォトリソグラフィーによりパターン形成してインク流路パターン層5を形成した後、両基板1、6を積層して熱圧着する。

請求項（抜粋）：

一対の基板の間にインク流路を少なくとも有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、該一対の基板の一方の基板上に感光性樹脂からなるドライフィルムをラミネートし、該ドライフィルム上に該ドライフィルムと同成分を含む液状フォトレジストを塗布する工程と、該ドライフィルムと液状フォトレジストとをフォトリソグラフィーによりパターン形成してインク流路溝を形成する工程と、該インク流路溝が形成された一方の基板と、他方の基板とを積層して熱圧着することにより両基板を接着する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。