特許

J-GLOBAL ID：200903093811490800

ウェーハ研削装置

発明者： 奥山 哲雄 ,  村井 史朗
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052293
公開番号（公開出願番号）：特開2004-260122
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】砥石および砥石に接触する被研削面を実質的には乾いた状態で維持する。【解決手段】ウェーハ10を保持する回転テーブル20と、回転テーブル20に保持されたウェーハ10の被研削面11に対面して回転自在に軸支され化学的作用のある砥石31と、ウェーハ10を清浄維持しウェーハ10を冷却する洗浄冷却媒体42を供給する給送部と、を備えたウェーハ研削装置において、化学的作用を生ずる箇所へ洗浄冷却媒体42の液が浸入することを規制する液浸入規制手段1,4を備えることによりケミカル仕上げ砥石の化学作用をする箇所へ、水を主体とする液体が侵入しないようにして、化学作用する箇所の乾燥状態を維持する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェーハを吸着保持する回転テーブルと、 前記回転テーブルに保持された前記ウェーハの被研削面に対面して回転自在に軸支され化学的作用のある砥石と、 前記ウェーハを清浄維持し冷却する洗浄冷却媒体を供給する給送部と、を備えたウェーハ研削装置において、 前記化学的作用を生ずる箇所へ前記洗浄冷却媒体の液が浸入することを規制する液浸入規制手段を備えたことを特徴とするウェーハ研削装置。

IPC (5件)：

H01L21/304 ,  B24D3/00 ,  B24D3/28 ,  B24D7/00 ,  B24D7/10

FI (6件)：

H01L21/304 621C ,  H01L21/304 622Q ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/28 ,  B24D7/00 P ,  B24D7/10

Fターム (8件)：

3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA27 ,  3C063BB01 ,  3C063BC03 ,  3C063EE10 ,  3C063FF18 ,  3C063FF30