プラズマ発生用電源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208897
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035693
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】ガス領域の静電容量値が誘電体の静電容量値に比べて無視できないような放電負荷に対しても、力率補償が行え、かつ小型で安価なプラズマ発生用電源装置を得る。【解決手段】対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成された放電負荷5に対し、交流電源1より整流器2、インバータ31、トランス4を介して交流高電圧を供給し、上記放電空間のガスを励起して、プラズマを発生させるプラズマ発生用電源装置において、トランス4の2次側に、放電負荷5に対して並列に、下記の式(1)を満足するインダクタンスを有する並列インダクタ62を設けた。1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1)ここで、L:インダクタンス[H]C1:誘電体の静電容量値[F]f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]C3:(C1×C2)/(C1+C2)で与えられる静電容量値[F]C2:ガス領域の静電容量値[F]

請求項（抜粋）：

対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両電極間に印加される交流高電圧により生じる電界によって上記放電空間のガスを励起し、プラズマを発生させる放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、上記トランスの2次側で、上記放電負荷に対して並列または直列に、下記の式(1)を満足するインダクタンスを有するように構成したことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。 1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1)ここで、L:インダクタンス[H]C1:誘電体の静電容量値[F]f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]C3:(C1×C2)/(C1+C2)で与えられる静電容量値[F]C2:ガス領域の静電容量値[F]

IPC (4件)：

H05H 1/24 , C01B 13/11 , H01T 15/00 , H01T 23/00

FI (4件)：

H05H 1/24 , C01B 13/11 A , H01T 15/00 C , H01T 23/00

Fターム (2件)：

4G042CA01 , 4G042CD01

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭54-134089
特開平3-016902
電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346247 出願人：株式会社荏原製作所

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