特許

J-GLOBAL ID：200903093814241690

露光装置及び方法

発明者： 楢木 剛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366865
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195582
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 複数の光源の状態に応じてこれら複数の光源から供給される照明光を制御して、効率的で安定した露光を可能にする。【解決手段】 プレート9の交換やアライメントを行っている際に、シャッタ板121a〜121cを遮断位置に移動させて、その後にプレート9交換等が始まるまでの間に目的の光源101a〜101cの交換作業を完了する。そして、後のプレート9交換等の際に、シャッタ板121a〜121cを非遮断位置に移動させる。このようなシーケンスを繰返すことにより、露光装置のラインを停止することなく各光源101a〜101cを順次交換することができる。

請求項（抜粋）：

複数の光源からの照明光を用いて基板にマスクパターンを転写する露光装置であって、前記複数の光源の光源状態に応じて、前記複数の光源の少なくとも1つの光源から出射した照明光を遮断するシャッタと、前記シャッタを制御するシャッタ制御装置とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 517 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 515 E