特許
J-GLOBAL ID：200903093814979818
近接露光装置のプリアライメント装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155595
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326361
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 基板に損傷を与えず、パーティクルが発生しない近接露光装置のプリアライメント装置を提供する。【構成】 基板1は、基板搬送機に吸着保持されて露光部4に搬入される。この状態で、基板1のエッジの位置を光学センサで計測し、マスク2に対する基板1のエッジの位置ズレを算出する。算出結果に基づいて、露光ステージ41は、基板1の位置ズレ量に合わせて水平変位しながら、Z方向駆動機42によって上昇させられ、基板1を吸着保持する。さらに、露光ステージ41は、基板を保持した状態で原点に復帰移動しながら、Z方向駆動機42によって上昇させられ、基板1をマスク2に近接して固定させる。
請求項（抜粋）：
光の照射によって、マスクに描画された所定のパターンを、基板の表面に塗布した感光材料に焼き付ける近接露光装置において、前記基板が載置される露光ステージと、前記露光ステージを昇降駆動する昇降駆動手段と、前記露光ステージを水平面内で駆動する水平駆動手段と、前記露光ステージの上方に搬入されてきた基板に対して非接触状態で、前記マスクに対する前記基板のエッジの位置ズレ量を検出する位置ズレ検出手段と、前記露光ステージ上に前記搬入された基板を搭載するために、前記昇降駆動手段によって前記露光ステージが上昇駆動される前に、または、上昇駆動中に、あるいは、上昇駆動前から上昇駆動中にかけて、前記位置ズレ検出手段によって検出された位置ズレ量に相当する分だけ、前記露光ステージが原点位置に対して水平面内で変位するように前記水平駆動手段を制御するとともに、前記露光ステージ上に前記基板が搭載された後、前記昇降駆動手段によって前記露光ステージが上昇駆動され、前記基板と前記マスクとが所定のギャップに設定される前に、前記露光ステージが原点復帰するように前記水平駆動手段を制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする近接露光装置のプリアライメント装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
