特許

J-GLOBAL ID：200903093827820613

露光熱による投影光学系の結像特性変動の測定方法及び露光装置

発明者： 兼目 弘巳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053607
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244182
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 複数の照明条件における縮小投影レンズの投影倍率やフォーカス位置の結像特性変動を容易に測定し、結像特性の補正係数を短時間で最適化する。【解決手段】 原版であるレチクル109上に形成された所定のパターンを投影光学系の縮小投影レンズ110および縮小投影レンズ開口絞り111を介してレチクル109と共役位置にある感光基板としてのウエハ115上に転写するための露光を行う際に、前記投影光学系に照射する露光エネルギ量を経時的に制御し、該投影光学系の経時的な結像特性の変化量を計測する第1工程と、前記結像特性の計測結果に基づいて、前記結像特性の照射変動を関数近似により定量化する第2工程とを含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

原版上に形成された所定のパターンを投影光学系を介して前記原版と共役位置にある感光基板上に転写する露光装置の結像特性変動の測定方法において、前記投影光学系に照射する露光エネルギ量を経時的に制御し、前記投影光学系の経時的な結像特性の変化量を計測する第1工程と、前記結像特性の計測結果に基づいて、前記結像特性の照射変動を関数近似により定量化する第2工程とを含むことを特徴とする露光熱による投影光学系の結像特性変動の測定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/207

FI (3件)：

G03F 7/207 H ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (5件)：

5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14