特許

J-GLOBAL ID：200903093827952021

欠陥検査装置

発明者： 小森 三雄 ,  小川 智広 ,  杉山 則順 ,  椿原 章弘 ,  新井 規之 ,  石田 雅春 ,  高橋 雅之 ,  岩崎 洋
出願人/特許権者： 東芝エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280970
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145907
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 一台の検査装置で様々な種類の欠陥を検出してその欠陥の種別を報知しその欠陥を総合的に判定する。【構成】 画像データ入力部3と、各画素間の濃度情報の変化量を水平及び垂直方向ついて求め、水平及び垂直方向の変化量を前記画素毎に加算し、加算された変化量を前記画素毎に平均化し、平均化された変化量が基準量より多い場合に微細な欠陥有りと判定する微細欠陥検査部5と、入力画像データを所定のしきい値により二値化して画像データの良否を判定する二値化検査部7と、入力画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、各格子内の各画素の濃度情報を加算して各格子毎の濃度加算値を求め、各格子間での濃度加算値の変化量を水平及び垂直方向について求め、各変化量が所定量より多い場合に、ムラ有りと判定するムラ検査部9と、微細欠陥検査部5、二値化検査部7及びムラ検査部9によりそれぞれ検査された被検査物の欠陥を総合判定する欠陥総合判定部13とを具備する。

請求項（抜粋）：

被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報をデジタル画像データに変換して取り込む画像データ入力部と、入力された画像データにおける各画素間の濃度情報の変化量を水平方向及び垂直方向ついて求める変化量演算手段と、求められた水平方向及び垂直方向の各変化量を前記画素毎に加算する変化量加算手段と、加算された変化量を前記画素毎に平均化する平均化手段と、平均化された変化量が基準量より多い場合に微細な欠陥有りと判定する検出手段と、を有する微細欠陥検査部と、入力された画像データを所定のしきい値により二値化して画像データの良否を判定する二値化検査部と、入力された画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、各格子内の各画素の濃度情報を加算して各格子毎の濃度加算値を求める濃度加算手段と、各格子間での濃度加算値の変化量を水平方向及び垂直方向のそれぞれについて求める変化量演算手段と、求められた水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定量より多い場合に、ムラ有りと判定するムラ検出手段と、を有するムラ検査部と、前記微細欠陥検査部、二値化検査部及びムラ検査部によりそれぞれ検査された被検査物の欠陥を総合判定する欠陥総合判定部と、を具備することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G06T 7/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-060754   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 表面欠陥検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-359050   出願人：川崎製鉄株式会社
• 特開昭61-245045