特許
J-GLOBAL ID：200903093832252640
面分析方法及び面分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-054757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096691
出願日： 1991年03月19日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【目的】 短時間で測定、分析を行うことができる面分析方法及び面分析装置を得る。【構成】 被分析面を多数の小領域に分割し各小領域に光を照射して求めた各小領域の分光スペクトルを表すデータを読込み、前記データから複数の主成分を抽出して複数の主成分の各々に対する主成分得点を各小領域毎に演算し、各小領域の各主成分得点が所定値以上か否かを判断して特定主成分の主成分得点が所定値以上の小領域が同じ小領域群に含まれるように複数の小領域を複数の小領域群に分類し、各小領域群から特定主成分の主成分得点が最も高い小領域(最良点)を抽出し、該小領域の分光スペクトルに基づいて各小領域群を構成する物質を分析する。
請求項（抜粋）：
被分析面を多数の小領域に分割し各小領域に光を照射して分光スペクトルを求め、求められた各小領域の分光スペクトルについて主成分分析を行い複数の主成分を抽出し、前記抽出された複数の主成分の各々に対する主成分得点を各小領域毎に演算し、各小領域の各主成分得点が所定値以上か否かを判断し、特定主成分の主成分得点が所定値以上の小領域が同じ群に含まれるように多数の小領域を複数の群に分類し、各群を構成する物質を分析する面分析方法。
引用特許：
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