特許
J-GLOBAL ID：200903093834459365
光導波路の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043541
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 クラッド層のリン濃度を均一にする。【構成】 本発明の光導波路の作製方法は、火炎堆積法により、コア132若しくはこれを囲むクラッド層122,142となるガラス層を形成することによってなされる光導波路の作製方法であって、リンを含有させたガラス微粒子層の堆積後このガラス微粒子層をガラス化することにより厚さ10μm以下のガラス膜122a,122bを形成し、このガラス膜形成工程を2以上繰り返してコア若しくはこれを囲むクラッド層となるガラス層を形成することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
火炎堆積法により、コア若しくはこれを囲むクラッド層となるガラス層を形成する光導波路の作製方法であって、リンを含有させたガラス微粒子層の堆積後このガラス微粒子層をガラス化することにより厚さ10μm以下のガラス膜を形成し、このガラス膜形成工程を2以上繰り返して前記ガラス層を形成することを特徴とする光導波路の作製方法。
IPC (2件)：
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