特許
J-GLOBAL ID：200903093842580440
X線多層膜反射鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143933
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005297
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 20nm以上の波長のX線に用いられるX線多層膜反射鏡の反射率増加を図る。【構成】 20nm以上の波長域のX線で使用され、この波長域のX線に対して屈折率の異なる複数の物質2、3を交互に積層して形成されるX線多層膜反射鏡M1において、表面にベリリウム、炭素、シリコン、炭化ホウ素または炭化ケイ素のうち少なくとも1つの物質からなる反射増加膜1を形成した。
請求項（抜粋）：
20nm以上の波長域のX線で使用され、前記波長域のX線に対して屈折率の異なる複数の物質を交互に積層してなるX線多層膜反射鏡において、表面にベリリウム、炭素、シリコン、炭化ホウ素または炭化ケイ素のうち少なくとも1つの物質からなる反射増加膜が形成されていることを特徴とするX線多層膜反射鏡。【0001】
引用特許：
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