特許
J-GLOBAL ID：200903093850169474
ガス供給装置の温度制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104780
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286721
出願日： 1994年04月18日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 常温常圧では液化しやすいプロセスガスを加熱保温しながら所定量正確に供給でき、脱着の容易なガス供給装置の温度制御装置を提供すること。【構成】 略円弧状に湾曲された矩形状の弾性部材18の一部を強い曲率で湾曲した係止部を有し、棒状若しくは円筒状の部材19の段差を係止部に係止する。その矩形状の弾性部材18を開閉弁54の側面に帯状に形成された凹みに弾力により着脱可能に取り付ける。棒状若しくは円筒状の部材19によりヒータ又は温度センサが所定位置に取り付けられる。或は、開閉弁又は質量流量制御弁53に固設された高熱伝導性のプレート1の上面に挿入孔を設け、側面に段差を有するヒータ又は温度センサ3を挿入する。挿入孔の周縁とヒータ又は前記温度センサ3の段差とによりヒータ又は温度センサ3が所定位置に取り付けられる。
請求項（抜粋）：
開閉弁と質量流量制御弁とを有するガス供給装置を流れる流体の温度制御を行う温度制御装置において、開閉弁又は質量流量制御弁に固設され、上面に挿入孔を形成された高熱伝導性のプレートと、前記挿入孔に差し込まれた、ヒータ又は温度センサと、前記ヒータ又は前記温度センサのケーブルを挿通する円筒状のアダプタ部材とを有し、前記挿入孔の周縁と前記アダプタ部材の下端との当接により、前記ヒータ又は前記温度センサを前記開閉弁又は前記質量流量制御弁の所定の位置に取り付けるとともに、前記ヒータ又は前記温度センサの着脱を上方からの操作で行えるようにしたことを特徴とするガス供給装置の温度制御装置。
IPC (3件)：
F23N 1/00 104
, F23K 5/00 301
, F23N 5/02 341
