特許
J-GLOBAL ID:200903093850859993

平面モータの位置決め装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田下 明人 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-160663
公開番号(公開出願番号):特開平8-006642
出願日: 1994年06月20日
公開日(公表日): 1996年01月12日
要約:
【要約】【目的】 より大きな回転抑止のトルクを発生させ得る平面モータの位置決め装置を提供する。【構成】 トルク制御余裕値算出回路170が、X軸方向のリニアモータ52、58の発生し得る推力の最大値と発生している推力との差と、Y軸方向のリニアモータ54、56の発生し得る推力の最大値と発生している推力との差とを比較し、この差の大きな方のリニアモータ側により大きな回転トルクを分配する。このため、発生し得る推力の最大値と発生している推力との差が大きい、即ち、より大きな推力を発生し得るリニアモータ側に大きな回転トルクを発生させるため、リニアモータ52、58とリニアモータ54、56とで発生し得る回転トルクを高めることができる。
請求項(抜粋):
磁性区域を取り囲む非磁性材料の格子を可動部材と面する面に備える平面部材と、X方向への推力を発生する偏位して配置された一対のX方向推力発生器と、Y方向への推力を発生する偏位して配置された一対のY方向推力発生器とを備える可動部材とから成る平面モータの位置決め装置であって、前記一対のX方向推力発生器に推力を付与し前記可動部材をX方向へ移動させると共に、推力に差を持たせた回転トルクを付与して前記可動部材の回転力を打ち消させるX方向推力付与手段と、前記一対のY方向推力発生器に推力を付与し前記可動部材をY方向へ移動させると共に、推力に差を持たせた回転トルクを付与して前記可動部材の回転力を打ち消させるY方向推力付与手段と、前記可動部材の回転力を検出する回転力検出手段と、前記回転力検出手段により検出された回転力に基づき決定される可動部材の回転を抑止させるための回転トルクを、前記X方向推力発生器の発生している推力と、前記Y方向推力発生器の発生している推力とに基づき、前記X方向推力付与手段と前記Y方向推力付与手段とに分配する回転トルク分配手段と、を備えることを特徴とする平面モータの位置決め装置。
IPC (3件):
G05D 3/12 ,  H02K 41/02 ,  H02P 7/00 101

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